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江西專業愛德華干泵維修

簡要描述:

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更新時間:2020-06-04

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江西專業愛德華干泵維修

江西專業愛德華干泵維修  

江西南昌愛德華干泵維修
南昌縱鵬機械設備有限公司專業從事edwards干泵維修,正規的維修工廠,擁有完整的維修SOP。Edwards iXH1210HT愛德華干泵維修保證質量,edwards干泵iXH1210HT維修基本無返修狀況,edwards真空泵維修收費合理,edwards真空泵維修服務品質到位,是供應商理想的選擇!
edwards iXH系列干泵產品是Edwards的市場iH產品的換代升級,為嚴苛制程能力樹立了新標準,它在世界上的許多300mm半導體和平板工廠內通過提高制程可靠性實現低擁有成本。可滿足 FPD、太陽能、半導體和LED制造業中日益提高的氣體流量要求的完美大容量干泵和增壓泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外,這些泵還配備多種特性以確保在嚴苛制程中具有大可靠性。
edwards iXH泵采用模塊化設計,符合 當今的制程要求,并且對于前沿工廠中不斷涌現的應用挑戰有著路線明確的應對計劃。
應用
半導體的目標應用包括:
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI
FPD 的目標應用包括:
PECVD
TCO
刻蝕
傳輸腔

愛德華干泵維修主要特性和優勢:
針對先進的EPI和太陽能制程大幅提高了氫氣抽取速度。
大容量干泵和增壓泵提供擴展的制程窗口以提高產量。
占地面積更小,高度更低,便于在任何工廠中安裝。
符合主要的標準,包括UL、CE 和 S2。可以始終如一地使用或省略不用。
愛德華干泵維修小結:
1.必須先泵浦外觀現象是否有破損,如有破損需告知使用單位。
2.通電之前還得通水,通水之前必須檢測你所有的接頭是否有漏水現象,以免燒毀電路板及馬達。
3.拆解泵浦,拆解之前必須分清楚螺絲部位,長度,大小,以免組裝時發生錯誤。
4.拆解過程中必須要細心,轉子是否有磨損,蓋板是否有損傷,缸璧是否有劃傷。
5.拆解時有的是帶控制電箱,有的是沒有的,所以特別分清楚,控制部分特別注意,不要損壞電路板之內的。
6.拆解完畢之后我們要清洗,噴砂,烘烤,組裝,所以拆解時配件必須擺放整齊,以至于組裝時方便。
7.用超聲波清洗機將所有的零件放在里面將其零件清洗,清洗完畢之后,在放入烤箱烘烤。
8.噴砂,噴砂有幾種噴砂機,如果是濕式噴砂機更為方便,所有的配件及腔體,蓋板都檢查完畢。
9.組裝過程中必須檢查所有的轉子尺寸是否達標,符合這臺真空泵使用尺寸,這個會直接導致你維修真空泵質量是否達標。
10.組裝過程中軸封及軸承組裝必須到位,如果不到位會影響你真空泵維修質量及使用壽命。
11.組裝過程中發現有轉子及軸套尺寸不到位應該停止馬上處理,工作第1次做到位,不必返工。
12.裝好之后我們要進行調試間隙。
13.調試間隙時你螺絲需要按照標準鎖多少磅就是多少磅,以免使用過程中松動導致真空泵卡死。
14.間隙調試完畢,就組裝馬達及管路,加油測試。
15.測試也是關鍵時候,也是對你勞動成果的肯定。
16.測試之前確定電壓,以便電機燒毀,確認無誤在通電。
17.通電之前先測試電機是否正傳還是反轉,如果反轉三根線當中,隨便兩根互換及可。
18.相位及電壓對了之后,我們可以接真空表頭,看看真空度及,抽速是否達標。
19.沒有通氣,通水時不宜測試時間過長,以便于電機溫度過高導致燒毀。
20.上架時有的氣管接頭,水管接頭必須檢查,是否有劃傷,如有需處理及更換。
21.上架好之后通水,通電,通氣所有都檢查完畢,方可通電。
公司擁有一支強大、專業保養護理進口真空泵維修的技術隊伍,特別精通于貝克真空泵、里其樂真空泵、萊寶真空泵、普旭真空泵、愛德華真空泵、日本好利旺真空泵等各種品牌進口真空泵的維修與保養。
所有產品都是從我們國外公司直接報關進口過來的,原裝正品!保證質量!
南昌縱鵬專業注iXH1210HT愛德華干泵維修及各類真空泵配件,并提供原廠真空泵維修保養服務!歡迎各界新老客戶洽談,我們將竭誠為您提供免費的技術指導與全套滿意的維修服務支持。
 

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